Zur Demonstration und nachfolgenden Vermessung der oben erwähnten Schaltfunktion mußte eine Glasplatte von 50mm Durchmesser mit einer Positioniergenauigkeit von 0,1µm über den Verstellweg von 200µm in Foliennähe verfahren werden. (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
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